低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究

• 作者: 唐德礼 程昌明 耿少飞 赵杰
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 圆柱形阳极层离子源 离子束 发散状态 准直性状态
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 等离子体应用
• 页码范围: 92-96
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 2592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2009.01.019

摘要

介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性.离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V,放电电流0.1～1.4A,工作气压～Pa,气体流量5～20sccm.离子源有两个工作状态:发散状态和准直性状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程昌明		17	105	7.0	9.0
2	唐德礼		35	180	7.0	12.0
3	赵杰		20	53	5.0	7.0
4	耿少飞		17	42	5.0	6.0