低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究

• 作者: 罗云 谢远来 陈晓怀
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 工学
• 关键词: 不确定度 抽速 抽气性能 低温泵
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 低温技术
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TB6
• 字数: 4407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2009.04.002

摘要

抽速是决定低温泵抽气性能的关键参数,高质量的抽速测试结果可有效指导低温泵的工程设计与实验运行.介绍了低温泵抽气性能测试平台的组成和抽速测量的基本原理,分析了压力和充气量的不确定度分量来源,研究了各不确定度分量的估计与合成,确定了低温泵的抽速测量不确定度,给出了抽速测量结果的完整表述,探讨了降低抽速测量不确定度、提高测量结果质量所采取的措施.研究结果对合理配置低温泵抽气性能测试平台、优化实验方案、提高抽速测量结果可靠性有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
2	谢远来	中国科学院等离子体物理研究所	35	102	6.0	8.0
3	罗云	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	1	1.0	1.0