h-线敏感光致产碱剂PNCDP的合成与表征

• 作者: Mitsuru Ueda 刘金刚
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 光致产碱剂 h-线 聚酰亚胺 光致抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 95-102
• 页数: 8页
• 分类号: O644
• 字数: 3406字
• 语种: 中文

摘要

设计并合成了一种对高压汞灯发射光谱中的h-线(405 nm)敏感的新型光致产碱剂(PBG)--N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶 (PNCDP).通过红外(IR)、核磁(NMR)以及元素分析对PNCDP的结构进行了表征.紫外-可见光谱(UV-Vis)测试结果表明,与传统的i-线(365 nm)敏感PBG--N-{[(4,5-二甲氧基-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶 (DNCDP)相比,PNCDP的最大紫外吸收波长为395.5 nm,较DNCDP红移了52.5 nm.初步光刻实验表明,PNCDP对h-线具有较好的敏感度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘金刚		8	80	5.0	8.0