基于Motif参数的线边缘粗糙度评定方法研究

• 作者: 张琳娜 赵凤霞 郭三刺
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 线边缘粗糙度 评定 Motif参数
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2009.04.004

摘要

针对现有线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)表征参数的不足,提出采用基于Motif参数的LER表征方法.对Motif参数的基本概念和评定流程进行了介绍,并以多层薄膜沉积技术制备的纳米线宽样板的LER评定为例进行了实验.结果表明:Motif参数无需评定基准,可以在轮廓全域内表征LER的幅度和间距特性,评定结果具有一定的鲁棒性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵凤霞	郑州大学机械工程学院	84	507	13.0	18.0
2	张琳娜	郑州大学机械工程学院	113	702	15.0	21.0
3	郭三刺	郑州大学机械工程学院	2	3	1.0	1.0