LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析

• 作者: 吕立冬 李新南
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜 蒸发技术 真空镀铝 几何建模 均匀性
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TH75|TB43
• 字数: 2623字
• 语种: 中文

摘要

选取多个钨丝均匀的分布在一个圆周上,形成一个环状蒸发源.把每个钨丝看成一个标准的点蒸发源,与LAMOST子镜建立模型形成一个蒸发沉积系统.把镜面离散成一个致密的具有特定坐标点的阵列,把每个点蒸发源对镜面上特定点的膜层厚度的贡献相加,从而得出膜层厚度的采样值.文章分析了点源的个数、圆环的半径、源基距、以及蒸发源的发射特性对膜层均匀性的影响,最终确定选取了12个钨丝,把源基距定为0.8 m,把圆环半径定为0.55 m.设计了相应的挡板实现了膜层不均匀性低于5%的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新南	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	18	75	5.0	8.0
2	吕立冬	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	3	3	1.0	1.0