钙钛矿型氧化物透明导电薄膜La:SrTiO3的制备、结构与物性研究

• 作者: 刘亲壮 吴文彬 王海峰 陈乐 高关胤
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: 透明导电薄膜 电阻率 铁电电容器
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 97-101
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

本文采用脉冲激光沉积法于不同沉积温度与衬底制备了一系列的La0.05 Sr0.95 TiO3(LSTO)单晶透明导电薄膜.实验主要研究了高温高氧压条件下沉积的LSTO薄膜的结构及电、光学性质.它们具有良好的外延结构,表现出很好的透明、导电性质.对电阻率拟合发现其导电机制符合电子.电子散射机制.由于制备条件与其它多种钙钛矿型氧化物薄膜一致,可广泛集成应用.用其作为电极所制备的PbZr0.52 Ti0.48O3(PZT)外延铁电电容器,具有很好的电滞回线和透光性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海峰		87	676	13.0	21.0
2	陈乐		2	1	1.0	1.0
3	刘亲壮		4	0	0.0	0.0
4	高关胤		2	0	0.0	0.0
5	吴文彬		14	7	2.0	2.0