激光晶体提拉生长模糊PID控制系统

• 作者: 尚付鹏 杨军良 高鹏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体生长 提拉法 Cortex-M3 模糊PID μC/OSII
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 页码范围: 1175-1178
• 页数: 4页
• 分类号: O79
• 字数: 2640字
• 语种: 中文

摘要

本文设计了基于ARM Cortex-M3核、针对上称重法激光晶体的生长的控制方案硬件平台,运用模糊PID自适应控制算法对称重信号进行模糊处理确定晶体生长瞬间所需的温度场,根据生长模型在理论上进行了仿真,并实际运用到TDL-J50型激光单晶炉设备,实现了激光晶体的瞬时生长速率的精确而平稳的自动控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨军良	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	15	75	6.0	7.0
2	高鹏	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	12	66	4.0	8.0
3	尚付鹏	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	2	10	2.0	2.0