传统硅烷分解炉内分解过程的模拟

• 作者: 俞晓晶 姚奎鸿 姚晓晖 朱成良 罗列
• 来源期刊: 浙江理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅烷 热分解 数值模拟
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 901-905
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 3075字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3851.2009.06.015

摘要

基于硅烷热分解的总体反应模型,利用Fluent软件模拟了钟罩式硅烷分解炉内同时发生的传热、传质和热化学反应过程.模拟结果定量地表述了传统硅烷分解炉内发生的各个过程,借此探讨了分解炉内的气压、硅棒温度和硅烷流量等工艺条件对硅烷热分解沉积硅转化率及能耗等技术指标的影响.指出硅棒温度为700～800℃,炉内压力升高至0.3 MPa时,有利于提高硅烷分解率,抑制硅粉的产生和降低能耗.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚奎鸿	浙江理工大学材料工程中心	47	201	10.0	12.0
2	姚晓晖	浙江理工大学材料工程中心	4	17	2.0	4.0
3	罗列	浙江理工大学材料工程中心	4	17	2.0	4.0
4	俞晓晶	浙江理工大学材料工程中心	5	26	3.0	5.0
5	朱成良	浙江理工大学材料工程中心	6	17	2.0	4.0