基于酸解型聚甲基丙烯酸酯的化学增幅成像材料及应用

• 作者: 王力元 程龙 黎莹
• 来源期刊: 影像技术
• 学科: 工学
• 关键词: 甲基丙烯酸酯 酸解 产酸剂 化学增幅光致抗蚀剂 PS版 热敏CTP版
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TQ577
• 字数: 2440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0270.2009.03.002

摘要

甲基丙烯酸分别与乙烯基乙基醚和二氢吡喃反应得到羧基被保护的酯化物.这些甲基丙烯酸酯单体进行均聚并分别与甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸-2-羟乙酯进行二元共聚.这些聚合物的保护基具有在室温下的高酸解活性,可以和产酸剂(三嗪化合物)、酚醛树脂一起组成化学增幅型感光成像材料,可用作i-线光致抗蚀剂和高感度PS版感光剂,其感度在100mj/cm2以下.此感光体系中加入红外染料即可用作热敏CTP版材成像材料.都获得了很好的成像表现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王力元	北京师范大学化学学院	22	78	5.0	8.0
2	程龙	北京师范大学化学学院	20	16	2.0	3.0
3	黎莹	北京师范大学化学学院	2	1	1.0	1.0