MEMS惯性仪表技术发展趋势

• 作者: 何胜 王巍
• 来源期刊: 导弹与航天运载技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机电 惯性技术 陀螺仪
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 23-28
• 页数: 6页
• 分类号: V464
• 字数: 4113字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-7182.2009.03.006

摘要

近几十年来,随着微电子技术的发展和微机械加工设备的完善和精度的提高,以单晶硅、石英晶体等材料研制的各种微型惯性仪表及其系统产品相继问世,它与传统的机械式惯性仪表相比,体积大为缩小,质量大为减轻,功耗大幅度降低;采用微机械工艺,可以实现大批量生产,故价格低廉;如果采用与IC兼容的工艺方式,配套电路还可以和微敏感结构集成一体化,MEMS惯性仪表具有可靠性高、承载能力强和测量范围大的特点;这些是传统机械式惯性器件无法比拟的.重点概述了近年来国内外微机电加速度计.微机电陀螺仪及其系统应用技术的发展情况,探讨了MEMS惯性技术下一步发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王巍		25	275	10.0	16.0
2	何胜		1	68	1.0	1.0