CIGS薄膜太阳能电池之单靶溅镀制程及应用

• 作者: 黄文啓
• 来源期刊: 上海电力
• 学科: 工学
• 关键词: Cu(InGa)Se2 薄膜太阳能电池 磁控溅镀
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 提高能源利用效率
• 页码范围: 351-354,376
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4+2
• 语种: 中文

摘要

运用溶剂浴热法合成四元化合物Cu(InGa)Se2粉末,利用XRD、SEM、XRF及UV-Vis测定其晶相结构、形貌、成分比例及能隙后,压制成靶材,以单源靶溅镀方式溅镀薄膜,采用in-line sputter技术制造出薄膜太阳能电池模块,其转换效率达10%.单靶溅镀制程实现自动化、制程简单,设备维护成本低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄文啓		1	0	0.0	0.0