SEM自动聚焦系统设计

• 作者: 方光荣 李勇滔 段守胜 谢家仪
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: SEM 自动聚焦 DcT变换 爬山算法
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器研制和开发
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TP31
• 语种: 中文

摘要

扫描电子显微镜(SEM)是用于观测微观世界的工具.扫描图像系统的聚焦好坏直接影响了观测的结果.反复的人为操作不仅使操作者疲惫,更会带来主观的误差.本系统依靠FEf公司提供的接口函数(API)采集样品的图像,利用DCT变换对图像进行频域性质分析,设计出图像清晰度评价函数,并且使用爬山算法搜索出最佳聚焦物镜电流,成功设计出高精度、鲁棒性高的自动调焦软件,实现了调焦的自动化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方光荣	中国科学院电工研究所	32	154	7.0	10.0
2	李勇滔	中国科学院电工研究所	14	31	3.0	4.0
6	段守胜	中国科学院电工研究所	2	7	2.0	2.0
10	谢家仪		2	11	2.0	2.0