激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究

• 作者: 张骏 彭信翰 杨伟
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 紫外激光 BST 非制冷红外焦平面阵列
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 373-376
• 页数: 4页
• 分类号: TN215|TN249|TG485
• 字数: 3250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2009.07.001

摘要

采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化,分别在空气中和碱溶液中使用紫外激光对钛酸锶钡(BST)材料进行划线,分析了溶液和激光参数的影响.使用KOH溶液作为辅助介质时,获得了宽为81μm,深约25μm,边缘光滑,侧壁垂直度高的微槽,已满足了实际应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张骏	烟台大学光电学院	61	337	11.0	14.0
2	杨伟	烟台大学光电学院	3	42	3.0	3.0
3	彭信翰		3	42	3.0	3.0