一种光学仪器镜面面形的处理方法

• 作者: 吴金虎 毕勇 翟嘉 胡企千
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 应用光学 镜面畸变 拟合 面形误差 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 10-12,17
• 页数: 4页
• 分类号: TB133|TH745
• 字数: 2127字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2009.01.001

摘要

光学镜面表面变形包含刚体位移和表面畸变,其中表面畸变是影响成像质量的主要因素,因此需去除刚体位移,分析表面畸变.通过坐标变换生成一个新的理论镜面,用该镜面拟合变形镜面,用拟合镜面与变形镜面轴向差值计算出表面畸变的RMS值及PV值.实例计算表明该算法拟合精度较高,适用于抛物面、球面镜在支撑和装夹下的镜面面形精度分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡企千	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	5	77	4.0	5.0
2	吴金虎		4	35	3.0	4.0
3	毕勇		1	20	1.0	1.0
4	翟嘉		1	20	1.0	1.0