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The effect of discharge conditions of ICP etching reactor on plasma parameters
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力学学报(英文版)
主办单位：
Chinese
Society
of
theoretical
and
Applied
Mechanics
出版周期：
双月刊
ISSN：
0567-7718
CN：
11-2063/O3
开本：
16开
出版地：
北京中关村15号中科院力学所内
邮发代号：
创刊时间：
1985
语种：
eng
出版文献量（篇）
1876
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