低驱动电压电容式RF MEMS开关结构设计优化

• 作者: 刘佳 刘婷婷 白竹川 陈营端 高杨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 射频微电子机械系统 开关 机电耦合Ware软件
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 160-165
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TH702
• 字数: 3633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.03.006

摘要

RF MEMS开关将成为微波、高频信号控制的关键器件.针对其驱动电压过高,不能满足现代通信系统低电压的要求,推导了电容式RF MEMS开关驱动电压的理论公式;基于降低开关柔顺结构的弹性系数、驱动电极上极板与可变电容上极板分离的思路,优化设计了三种具有不同的连接梁和支撑梁结构形式的开关微桥柔顺结构.第一种结构为驱动电极板和电容上极板之间以双直梁连接;第二种结构以一组弹性折叠梁代替结构一中的双直梁;第三种结构是在结构二的基础上,改变了起支撑作用的弹性折叠梁的方向.使用MEMS CAD软件Coventor Ware对开关结构进行了机电耦合仿真,仿真结果表明开关的驱动电压小于3 V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	刘婷婷	西南科技大学信息工程学院	36	212	9.0	12.0
6	陈营端	西南科技大学信息工程学院	9	87	6.0	9.0
7	白竹川	西南科技大学制造科学与工程学院	10	95	7.0	9.0
8	刘佳	西南科技大学信息工程学院	8	37	3.0	6.0