用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作

• 作者: 刘景全 杨春生 沈修成 王亚军 郭忠元
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 视网膜假体 Parylene 光刻胶热熔 微电极阵列 MEMS
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3513字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.01.004

摘要

提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作.微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60 μm,高度大约为24 μm.整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表面轮廓,提高刺激效果.同时,电极具有很好的透明性,便于手术时电极的植入和手术后对生物组织的观察.