马赫-曾德尔外差干涉椭偏仪非线性误差分析

• 作者: 刘洪冰 孙骞 崔国新 张艳峰 李玉栋 许京军 陈靖
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 非线性误差 外差干涉 偏振
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 239-242
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2868字
• 语种: 中文

摘要

马赫-曾德尔外差干涉椭偏仪是一种重要的光偏振态实时测量技术.为了提高测量系统的精度、降低误差,采用外差干涉光路分析和数值模拟的方法,理论推导了透射式马赫-曾德尔外差干涉椭偏仪光路的误差公式.结果表明,光源偏振的椭圆化程度,偏振分光棱镜消偏比及倾斜都能引起测量误差;同误差参量下待测光束不同的椭偏比和s,p分量相位差得到的测量误差不同;马赫-曾德尔外差干涉仪的误差结果与迈克尔逊外差干涉仪相近.