磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析

• 作者: 刘超前 李伟力 费维栋
• 来源期刊: 南京大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 Pt 织构 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 先进材料测试及表征专栏
• 页码范围: 135-138
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0469-5097.2009.02.004

摘要

本文利用X射线衍射技术表征了磁控溅射Pt薄膜的纤维织构.并给出了一种表征薄膜纤维织构的一般性方法.研究结果表明,利用X射线衍射的特殊扫描方式可以实现薄膜纤维织构的定量和定性表征.对于制备态Pt薄膜而言,织构漫散;400℃退火后,薄膜{111}型纤维织构变强,表明Pt薄膜的强{111}织构系退火时薄膜的再结晶所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟力	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	57	1676	19.0	40.0
2	费维栋	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	33	169	8.0	11.0
3	刘超前	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0