基于倾斜A1N薄膜的体声波质量传感器的制备及性能分析

• 作者: 吴雯 杜鹏飞 熊娟 胡明哲 顾豪爽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 质量传感器 倾斜A1N薄膜 磁控溅射 剪切振动
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1114-1116
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 2009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.08.009

摘要

提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的A1N薄膜的制备方法,探讨了倾斜A1N薄膜的生长机理.以3对交替沉积的Ti-MD金属层为布拉格声学反射层,采用MEMS工艺制备了基于倾斜A1N薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器,并对器件的S11参数进行测试分析,得到传感器的中心频率为0.78GHz,表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明哲	湖北大学物理学与电子技术学院	20	113	7.0	9.0
2	顾豪爽	湖北大学物理学与电子技术学院	86	386	10.0	14.0
3	吴雯	湖北大学物理学与电子技术学院	8	43	3.0	6.0
4	熊娟	湖北大学物理学与电子技术学院	15	55	4.0	7.0
5	杜鹏飞	湖北大学物理学与电子技术学院	4	5	1.0	2.0