利用直流磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO: Zr新型透明导电薄膜

• 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁长坤
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO∶Zr薄膜 柔性衬底 直流磁控溅射 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 732-737
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 1322字
• 语种: 中文

摘要

室温下利用直流磁控溅射法在有ZnO缓冲层的柔性衬底 PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO: Zr)透明导电薄膜,研究了厚度对ZnO: Zr薄膜结构及光电性能的影响.结果表明,ZnO: Zr薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜.实验获得ZnO: Zr薄膜的最小电阻率为2.4×10-3 Ω·cm,其霍尔迁移率为18.9 cm2·V-1·s-1 ,载流子浓度为2.3×1020 cm-3.实验制备的ZnO: Zr薄膜具有良好的附着性能,其可见光平均透过率超过92%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
2	张化福	山东理工大学理学院	52	292	11.0	13.0
3	类成新	山东理工大学理学院	48	201	8.0	10.0
4	袁长坤	山东理工大学理学院	23	126	6.0	10.0