高速工具钢W6Mo5Cr4V2表面不同DLC处理后的性能探讨

• 作者: 孔蕊弘 李浩源 梁小伟
• 来源期刊: 上海金属
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 磁控溅射 脉冲等离子增强化学气相沉积 高速工具钢
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 材料组织与性能
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: TG1
• 字数: 3052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7208.2009.06.008

摘要

设计了过渡层和梯度膜结构,采用PVD磁控溅射工艺和PVD磁控溅射+PECVD(脉冲等离子增强化学气相沉积)复合工艺在高速工具钢W6Mo5Cr4V2表面制备不同的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜:Ti过渡层+DLC膜以及CrN+CrNC+CrC+DLC(掺杂Cr)硬质膜.对这两种膜层的成分、结构、形貌和力学性能的对比分析发现,前者表面粗糙度小,但是后者的综合力学性能更好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁小伟	同济大学材料科学与工程学院上海市金属功能材料开发应用重点实验室	4	14	2.0	3.0
5	孔蕊弘		2	0	0.0	0.0
6	李浩源		1	0	0.0	0.0