基于微模塑法的PMMA/SiO2透射光栅的制备

• 作者: 刘建平 杨小敏 王雪芳 胡林 赵永刚
• 来源期刊: 安徽师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 软刻蚀 微模塑 杂化材料 透射光栅
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 化学与材料科学
• 页码范围: 554-556,579
• 页数: 4页
• 分类号: O632.52
• 字数: 1931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2443.2009.06.010

摘要

以sol-gel法合成出的PMMA/SiO2杂化溶胶为加工对象,以聚二甲基硅氧烷为弹性印章,采用软刻蚀技术中的微模塑方法,在普通光学玻璃表面制备出了PMMA/SiO2杂化材料栅格状的微图形结构.扫描电子显微镜(SEM)、光学显微镜和扫描探针显微镜(SPM)的测试结果表明:所制得的光栅微结构清晰规整;以氦氖激光器(632.8nm)为光源,通过衍射实验,得到了清晰的光栅衍射图案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建平	华东交通大学化学系	43	303	10.0	15.0
2	胡林	华东交通大学化学系	46	423	11.0	18.0
3	王雪芳	华东交通大学化学系	6	94	5.0	6.0
4	杨小敏	华东交通大学化学系	34	281	10.0	15.0
5	赵永刚	华东交通大学化学系	3	13	2.0	3.0