一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制

• 作者: 刘景全 朱军 胡志军 陈翔 陈迪 黄闯
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微继电器 电热驱动 有限元分析
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1696-1700
• 页数: 5页
• 分类号: TN603.5|TN405
• 字数: 2511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.12.004

摘要

设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械(MEMS)继电器,并进行了性能测试.整个工艺采用非硅MEMS工艺,利用Cu作为牺牲层材料,Ni作为微继电器的结构材料.微继电器是基于杠杆放大原理设计的,因此能够获得较大的行程;驱动臂采用"U"型梁设计,能够在不增加功耗的条件下,获得较大的驱动力.并采用Ansys10.0有限元软件对微继电器进行了模拟分析.测试结果表明,这种微型继电器具有体积小、驱动电压低、切换速度快等优点.