图案化限域铝阳极氧化方法研究

• 作者: 谢凯 韩喻
• 来源期刊: 中国腐蚀与防护学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 图案化限域 阳极氧化铝 聚苯乙烯
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 104-108
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 3008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4537.2009.02.005

摘要

将软刻蚀技术与电化学阳极氧化相结合,提出了图案化限域铝阳极氧化方法.摸索出图案化限域的关键工艺条件,认为聚合过程中单体挥发产生的空隙和链段热运动产生的空穴是影响聚合物膜层隔绝电解液性能的关键因素之一.同时需根据设计的图案尺寸选择适当的膜层厚度,在保证隔绝电解液性能以及粘流态聚合物能够完全覆盖非图案区的基础上,膜厚应小于毛细管力推动聚合物攀升的最高高度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩喻	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	20	190	7.0	13.0
2	谢凯	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	56	590	12.0	22.0