基于(100)定向金刚石薄膜的辐射探测器研究

• 作者: 史伟民 夏义本 徐闰 沈沪江 王林军 黄健
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 辐射探测器 光电性能
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1254-1258
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2009.01254

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备了100μm米厚高质量(100)定向金刚石薄膜. 利用(100)定向金刚石薄膜成功制备了α粒子探测器, -100V偏压下电荷平均收集效率为37.7%, 最大的电荷收集效率达到60%以上. 在此基础上, 通过在α粒子探测器条状电极面蒸镀一层合适厚度的硼(~(10)B)膜转化层, 成功研制了金刚石中子探测器. 镀硼之后探测器对中子有明显的响应, 在1V/μm电场下, 对~(252)Cf中子的能量分辨率达到9.3%,探测效率达到1.67%. 同时还研究了电场强度和硼(~(10)B)层厚度对器件探测效率的影响规律. 在厚度<1.5μm时, 随着厚度的增加, 探测效率上升, 当厚度>1.5μm时, 探测效率下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
3	黄健	上海大学材料科学与工程学院	17	28	3.0	4.0
4	史伟民	上海大学材料科学与工程学院	56	313	10.0	14.0
5	徐闰	上海大学材料科学与工程学院	6	7	2.0	2.0
6	沈沪江	上海大学材料科学与工程学院	4	48	3.0	4.0