扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除

• 作者: 刘磊 史晓晶 李守荣 王军波 赵晋敏 陈德勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散硅 谐振式微机械压力传感器 同频干扰 非对称激励 电磁激励和检测
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 362-365
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1905字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.03.015

摘要

为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制.实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题.通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法.实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
2	刘磊	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	181	1653	22.0	30.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
4	李守荣	华北电力大学电气与电子工程学院	15	93	5.0	9.0
5	赵晋敏	华北电力大学电气与电子工程学院	1	4	1.0	1.0
9	史晓晶	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	2	39	2.0	2.0