双端固支微机电变截面梁二维效应的研究

• 作者: 刘天一 李伟华
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 变截面梁 形变 可变电容
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米、固态及真空电子器件
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2009.01.005

摘要

双端固支微机电变截面梁因为抗弹性扭曲作用,不能再简化为一维双端固支梁进行建模与分析,必须考虑梁结构在运动时因二维形变效应[1]对可变电容、光开关、RF MEMS开关等器件性能的影响.计算了由于二维形变效应所产生的误差,对主要参数变化所产生的影响进行了分析,又在分析的基础上进行了总结,分析与结论 为设计者选取结构尺寸提供了参考.