适用于非制冷焦平面探测器的氧化钒薄膜制备研究

• 作者: 任华 太云见 李龙 秦强 袁俊 魏虹
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒 非制冷红外探测器 离子束增强沉积
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 334-336,341
• 页数: 4页
• 分类号: TP273.2
• 字数: 3269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2009.06.007

摘要

氧化钒薄膜由于其具有高电阻温度系数(TCR),近年来被广泛应用于非制冷红外探测器.利用离子束增强沉积法,通过精确控制溅射电压、退火温度优化了氧化钒的制备工艺,制备出的氧化钒薄膜电阻为40kΩ、TCR为-2.5%K-1,满足非制冷焦平面探测器氧化钒薄膜的应用的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李龙		5	22	3.0	4.0
2	袁俊		14	59	5.0	7.0
3	太云见		11	82	7.0	8.0
4	秦强		6	20	3.0	4.0
5	魏虹		2	3	1.0	1.0
6	任华		3	12	2.0	3.0