Ku波段MEMS微波功率耦合器设计

• 作者: 廖小平 朱秋耀
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微波功率耦合器 耦合系数 GaAs Ku波段
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1233-1237
• 页数: 5页
• 分类号: TN622
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.006

摘要

针对现有的微波功率测量都基于热电偶和二极管等终端器件,功率信号在被检测后无法利用的问题,设计了一个基于微机电(MEMS)射频(RF)并联开关在Ku波段(12.4～18 GHz)应用的微波功率耦合器,包括等效电路、共面波导(CPW)匹配的设计和结构仿真.该耦合器是MEMS微波功率传感器的核心,它利用MEMS膜桥耦合CPW上的微波功率信号,大部分功率信号被检测后都能传至下级电路做进一步处理.为了减小反射损耗和获得宽频带响应,提出了两种优化方法,即凹槽调谐结构设计和补偿电容设计,经过优化设计后的Ku波段MEMS微波功率耦合器的回波损耗(S11)和插入损耗(S21)在中心频率15.2 GHz处分别达到了-42.90 dB和-0.15 dB,显示出耦合器的高隔离度和低损耗.同时在Ku波段,上述参数同中心频率点处的偏差分别为±6.41 dB和±0.04 dB,显示出其宽带特性.