双声路声表面波毒剂传感器的设计

• 作者: 左伯莉 江洪敏 陈传治 马晋毅
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波谐振器 双声路 毒剂 气体传感器
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.04.029

摘要

对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、灵敏度高、响应快速、适于连续实时检测等特点,为发展毒剂检测器材提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈传治		12	45	4.0	6.0
2	马晋毅	中国电子科技集团公司第二十六所	25	52	3.0	5.0
3	左伯莉		14	93	6.0	9.0
4	江洪敏	中国电子科技集团公司第二十六所	9	20	2.0	4.0