短波CMT红外光导探测器延伸电极的改进

• 作者: 史琪 汤金春 王向前 铁筱滢
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 功函数 Cr/Au电极 In/Au+Cr/Au电极 Ti/Au电极
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 84-86,94
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 1614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2009.02.005

摘要

针对短波CMT红外光导探测器出现的拖尾问题,找到其拖尾的原因:过渡电极的功函数过大.为此,在原来Cr/Au电极的基础上,提出了In/Au+Cr/Au电极初步解决了拖尾问题,但是在工艺上出现了In聚球现象,影响器件的稳定性.又提出Ti/Au电极,比较好的解决了拖尾问题和In/Au+Cr/Au电极带来的工艺问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史琪		5	5	1.0	2.0
2	王向前		4	1	1.0	1.0
3	汤金春		2	4	1.0	2.0
4	铁筱滢		4	5	1.0	2.0