塑料表面溅射电磁屏蔽膜的研究

• 作者: 毛一帆 董树荣
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁屏蔽 屏蔽效能 磁控溅射 塑料金属化
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 2774字
• 语种: 中文

摘要

电磁干扰(EMI)日益严重,在产品表面镀覆电磁屏蔽膜成为抗EMI主要措施之一.本文采用磁控溅射技术在聚酯塑料(PET)上制备出附着力大于5 MPa、2 GHz～4 GHz频率范围内屏蔽效能大于60 dB的复合结构的电磁屏蔽膜,并研究了导电膜、导磁膜及其复合膜层的电磁屏蔽特性.有关数据表明:镀覆500 nm Cu+300 nm 1Cr18Ni9Ti的复合屏蔽膜可以获得屏蔽效果、成膜速率和结合力的综合好效果.溅射功率、膜层厚度对电磁屏蔽特性和结合力有一定影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董树荣	浙江大学信电系	51	627	14.0	23.0
2	毛一帆		1	9	1.0	1.0