VHF-PECVD制备微晶硅薄膜的微结构研究

• 作者: 余泽通 卢景霄 张丽伟 杨根
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微晶硅薄膜 微观结构 微观形貌
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 231-234
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1921字
• 语种: 中文

摘要

用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)法在玻璃衬底上低温制备了不同沉积时间微晶硅薄膜.用拉曼散射光谱仪、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等表征手段对薄膜的微观结构进行了研究.研究结果表明:随着沉积时间的延长,薄膜呈岛状生长,薄膜晶粒度在微晶核形成后迅速升高并逐渐饱和;其微观结构经历了"非晶相→非晶/微晶混合相→微晶相"的演变过程.本实验制备的微薄膜仍以(111)为优化取向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丽伟		17	90	7.0	9.0
3	余泽通	河南科技学院机电学院	29	140	6.0	11.0
4	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
5	杨根	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	7	39	4.0	6.0