类球状微米金刚石聚晶膜场发射的稳定性

• 作者: 张兵临 张武勤 高金海
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石聚晶
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 872-876
• 页数: 5页
• 分类号: TN873.95
• 字数: 3250字
• 语种: 中文

摘要

在覆盖金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶膜.通过二极管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、XRD分析了场发射前后薄膜的结构和表面形貌的变化.发现在高场、大电流密度的场发射中,对类球状微米金刚石聚晶薄膜中的金刚石聚晶颗粒影响很小,而对金刚石聚晶颗粒间的非晶碳层影响很大.对类球状微米金刚石聚晶变化机理进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兵临	郑州大学物理工程学院	95	608	12.0	18.0
2	高金海	郑州师范高等专科学校物理系	22	25	3.0	4.0
3	张武勤	郑州师范高等专科学校物理系	25	50	5.0	5.0