偏振激光干涉仪的纳米定位系统

• 作者: Luc Chassagne Suat Topcu Yasser Alayli 李东升 许素安
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 偏振干涉仪 锁相回路 纳米定位
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 118-121
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 1514字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2009.02.005

摘要

详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和纳米加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升	中国计量学院计量测试工程学院	176	977	16.0	19.0