时间依赖性雾(TDH)的产生机理及其消除方法

• 作者: 张鹤鸣 赵丽霞 陈秉克
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 时间依赖性雾(TDH) 酸根离子 碱根离子 颗粒 光散射
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 工艺技术与材料
• 页码范围: 669-671
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.07.13

摘要

阐述了Si片表面时间依赖性雾的形成过程、分布、形状、密度及识别和去除的方法.通过同样流程清洗、不同条件干燥处理的Si片在不同湿度条件下储存的实验,指出了时间依赖性雾是H与掺杂原子的联合体以及雾是Si片表面与H2O或O2反应生成SiO2颗粒两种解释的不准确性.提出了时间依赖性雾是含有离子或有机物沾污的水汽在Si表面浓缩而形成的光散射.在总结和比对分析实验结果的基础上,得到了控制时间依赖性雾的生成、延长Si片存储时间的有效方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹤鸣	西安电子科技大学微电子学院	102	510	12.0	16.0
2	赵丽霞		14	36	4.0	5.0
6	陈秉克		2	6	2.0	2.0