类金刚石薄膜的紫外可见区光学特性研究

• 作者: 原飞 梁海锋
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 光学常数 光学能隙 透过率
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444|O484.4
• 字数: 2218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2009.05.009

摘要

在类金刚石薄膜(DLC)光学特性的研究方面,主要工作集中在红外区光学特性,在可见区和紫外区光学特性研究方面存在空白;鉴于此详细研究了采用脉冲电弧沉积DLC薄膜在可见区和紫外区的光学特性.利用脉冲电弧离子镀技术,在石英基片上和不同工艺条件下制备了类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜在紫外和可见区的光学常数、光学透过率和光学能隙.结果表明,主回路电压是薄膜的光学常数变化的主要影响因素,低主回路电压下制备的类金刚石薄膜具有较低消光系数和折射率;不同的工艺条件下制备的类金刚石折射率从2.56变化到1.89(波长400nm);沉积速率对薄膜的折射率和消光系数没有明显的影响;DLC薄膜的光学能隙在3.95eV左右;紫外区和可见区的透过率谱和椭偏仪测得的光学常数相互一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁海锋	西安工业大学光电工程学院	35	180	7.0	12.0
2	原飞	西安工业大学光电工程学院	1	1	1.0	1.0