磁控溅射太阳能电池预镀Mo薄膜及其性能

• 作者: 单玉桥 孙绍广 王有欣
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 磁控溅射 Mo薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 122-125
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2348字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-1048.2009.02.003

摘要

利用磁控溅射法在玻璃基片上进行了太阳能电池预镀层Mo薄膜的制备,研究了氩气分压、溅射功率、溅射时间等工艺条件对Mo膜性能及厚度的影响,并对Mo膜的物理性能及电学性能进行了研究.结果表明,Mo薄膜的厚度与溅射时间近似的成正比关系,Mo膜的电阻率先降低,并在膜厚为0.3 μm处达到最低,而后电阻率逐渐增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	单玉桥		15	62	5.0	7.0
2	王有欣	辽宁科技大学工程训练中心	10	24	2.0	4.0
3	孙绍广		2	12	1.0	2.0