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半导体产业链
GVC嵌入度
全要素生产率
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市场竞争
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 半导体外延工艺的良率提升
来源期刊 半导体行业 学科 工学
关键词 半导体产业 外延工艺 晶圆制造 投资收益 竞争优势 生产力 资金
年,卷(期) 2009,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 52-53
页数 2页 分类号 TN304.23
字数 语种 中文
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2009(0)
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研究主题发展历程
节点文献
半导体产业
外延工艺
晶圆制造
投资收益
竞争优势
生产力
资金
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体行业
双月刊
无锡市梁溪路14号
出版文献量(篇)
1222
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6
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