电子回旋共振放电中电子能量分布特性的研究

• 作者: 杨中海 金晓林
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子回旋共振放电 电离 蒙特卡罗方法 粒子模拟方法
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 页码范围: 562-567
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 字数: 3756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2009.05.011

摘要

建立了电子回旋共振(ECR)放电的粒子模型,编制了准三维电磁模粒子模拟与蒙特卡罗模拟程序.通过对氩气ECR放电电离过程的理论分析与数值模拟,得到了放电稳态形成时不同放电区域的电子能量分布.研究了不同中性气压以及外加磁场位形对这些区域中电子能量分布特性的影响.随着中性气压的升高,远离ECR区域中的低能电子减少,高能电子增加,而ECR区域中电子能量分布变化特征与之相反;相对于收敛磁场位形,磁镜磁场位形更有利于约束放电下游区的电子能量以及电子能量分布的宽度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨中海	电子科技大学物理电子学院	97	814	15.0	24.0
2	金晓林	电子科技大学物理电子学院	17	103	6.0	9.0