应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 阿达玛光谱仪 微硅片狭缝阵列 光通量 阿达玛S型狭缝阵列 阿达玛循环S型狭缝阵列
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2724-2729
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.1
• 字数: 2652字
• 语种: 中文

摘要

为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析.利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式.采用Matlab软件对光强分布进行仿真,搭建了实验测量平台验证仿真结果.结果显示,在相同的条件下,阿达玛S15型狭缝阵列的光通量是阿达玛循环S15型狭缝阵列的1.45倍,推导得出的衍射光强分布公式正确,仿真方法准确,测试方法合理,表明阿达玛S型微硅片狭缝阵列适合本文设计的光谱仪.