400-1100 nm波段用于格兰泰勒棱镜减反射膜的研制

• 作者: 王召兵 苏富芳 郝殿中
• 来源期刊: 曲阜师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 格兰泰勒棱镜 宽带 减反射膜 离子辅助电子束镀膜
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: O439|O436.3
• 字数: 1482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5337.2009.01.014

摘要

为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜.采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明平均剩余反射率均小于1.7%.测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝殿中	曲阜师范大学激光研究所	31	47	4.0	6.0
2	苏富芳	曲阜师范大学激光研究所	10	7	1.0	2.0
3	王召兵	曲阜师范大学激光研究所	9	13	2.0	3.0