基于划痕曲线模糊特征分析法确定硬质薄膜临界载荷

• 作者: 朱强 秦东晨 袁峰
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 纳米划痕法 临界载荷 模糊特征 隶属函数 氮化钛薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 1015-1018
• 页数: 4页
• 分类号: TG113.25
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2009.06.028

摘要

由于划痕实验曲线包含有大量无规则波动和跳跃,文中提出从划痕曲线的模糊特征分析角度,获取硬质薄膜的临界载荷值.针对氮化钛(TiN)硬质薄膜的纳米划痕实验结果曲线,文中进行较为深入的模糊特征分析,定义压头垂直位移相对变化率R_V和摩擦因数相对变化率R_F两个特征量,利用模糊逻辑的方法,确定临界载荷的大小.结果表明,划痕曲线模糊特征分析是一种有效的方法,能方便实现临界载荷的判别,进而为评价膜基界面结合强度提供一定依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦东晨	郑州大学机械工程学院	98	866	15.0	26.0
2	袁峰	郑州大学机械工程学院	46	177	8.0	12.0
3	朱强	郑州大学机械工程学院	29	173	7.0	11.0