电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究

• 作者: 冯圣玉 孔祥东 张玉林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光 重复增量扫描 聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片 流体 微通道
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|TN703
• 字数: 2354字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.01.008

摘要

对PCR微流控芯片通道中流体的流动特性进行了分析,发现流体在横截面为圆形的通道中流动时由摩擦引起的等效水头损失及表面张力均小于微矩形通道.以此为依据,将PCR芯片微通道优化设计成圆形通道.在JSM-5CF电子束曝光机上采用束斑尺寸80 nm、能量20 keV的电子束对1μm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了单次曝光剂量40 μC/cm<'2>的8次重复增量扫描曝光实验,显影后得到的PCR芯片微圆通道轮廓清晰,边缘连续光滑.证明了电子束重复增量扫描曝光方式制作PCR微流控芯片微圆通道的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学控制科学与工程学院电子束研究所	56	465	11.0	19.0
2	冯圣玉	山东大学化学与化工学院	89	717	14.0	22.0
3	孔祥东	山东大学化学与化工学院	12	74	4.0	8.0