微机电加速度计的六位置标定

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 惯性导航系统 MEMS加速度计 六位置标定 标度因数 安装误差 线性度
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1557-1561
• 页数: 5页
• 分类号: V241
• 字数: 567字
• 语种: 中文

摘要

加速度计是惯性导航系统测量载体加速度和影响惯性导航系统精度的主要元器件.为提高惯性导航系统的精度,在使用加速度计以前需要进行加速度计的标定测试[1].主要介绍了微机电(Micro Electro Mechanical Systems,简称MEMS)加速度计的六位置标定法,以便从MEMS加速度计的误差模型中分离出MEMS加速度计的各项标定参数.这些参数包括MEMS加速度计的标度因数、零位漂移以及安装误差系数.并且在得到MEMS加速度计的各项标定参数后将其封装在C函数中进行了验证实验.实验结果表明MEMS加速度计的六位置标定法的原理简单并且在工程应用中容易实现,所得到的MEMS加速度计的输出不但反映了MEMS加速度计的实际输出,而且使MEMS加速度计的线性度得到改善.