微电子工业对超净高纯化学品的质量要求

• 作者: 杨昀
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级 超净 高纯化学品 高纯试剂 MOS试剂 湿化学品 工艺化学品
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 专论综述
• 页码范围: 35-42
• 页数: 8页
• 分类号: TQ420
• 字数: 7710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2009.05.010

摘要

我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少.为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的质量要求,搜集、整理并分析了近二十年来的相关文献,研究了不同规模集成电路对这类化学品纯度、洁净度的质量规格要求,建议:制定有全球竞争力的超净高纯化学品国家标准;建立相关产品生产管理制度和实施细则;建立能与国际资深实验室进行测试技能交流的有世界公信力的分析检测平台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨昀		10	79	4.0	8.0