高纯电子化学品技术研发现状及必须解决的基本问题

• 作者: 李德高 赵海燕
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯电子化学品 电子级磷酸 金属离子
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 专论综述
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TQ126.3+5
• 字数: 5203字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2009.05.008

摘要

目前电子产业对高纯电子化学品的质量要求非常高,其生产技术由国外发达国家垄断,国内使用的高纯电子化学品几乎全部依赖进口.因此,必须依靠自己的科研力量进行技术开发.在技术研发过程中必须解决一些最基本问题,比如没有高投入高精密试验和分析设施,不可能开展高纯电子化学品的试验研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵海燕		12	57	5.0	7.0
2	李德高		4	22	2.0	4.0