薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验

• 作者: 田文杰 罗兵 邹淑芳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体 ANSYS分析 谐振器 力频灵敏度系数 应力分布
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 489-493
• 页数: 5页
• 分类号: O765|TM229.1
• 字数: 2878字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.08.009

摘要

利用ANSYS有限元理论模型分析AT切石英晶体受沿z轴方向的对径力作用时晶片内的应力分布情况,并计算三电极位置处的应力变化比值.测试了三电极谐振器的基频振荡频率,并计算其相应的力频系数.通过比较ANSYS仿真分析的结果和实验所得结果,表明ANSYS仿真分析计算结果与实验结果基本一致,从而证明ANSYS仿真分析是可行的.因此,在同一晶体基片上设计谐振器时,可借助有限元分析手段,根据晶片内的应力分布情况,在有限空间范围内初步选择应力变化差异较大的位置设置电极,以此获得力频敏感特性显著的集成式石英晶体谐振器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田文杰	北京信息科技大学传感器重点实验室	37	158	6.0	11.0
2	邹淑芳		16	30	3.0	4.0
3	罗兵	北京信息科技大学传感器重点实验室	3	6	1.0	2.0