氢气浓度对MPCVD金刚石膜色度的影响

• 作者: 吴智量 彭军 徐伟 杜康 贺中信
• 来源期刊: 光散射学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 色度学 金刚石膜 饱和纯度 色度纯度
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 材料研究中的应用
• 页码范围: 152-156
• 页数: 5页
• 分类号: O432.3
• 字数: 2165字
• 语种: 中文

摘要

利用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品.研究了氢气浓度对所沉积金刚石膜色度的影响.结果表明,饱和纯度和色纯度随着H2浓度的增大而升高;当H2浓度达到94.137%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%;之后随着H2浓度的进一步升高饱和纯度和色纯度开始下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴智量	广州大学物理与电子工程学院	22	64	5.0	7.0
2	徐伟	广州大学物理与电子工程学院	21	53	4.0	6.0
3	彭军	广州大学物理与电子工程学院	27	44	4.0	5.0
4	杜康	广州大学物理与电子工程学院	7	11	2.0	3.0
5	贺中信	广州大学物理与电子工程学院	6	11	2.0	3.0